|
Микроскоп часто применяется как арбитражный - для идентификации и классификации выявленных дефектов. К таким микроскопам обычно предъявляются следующие требования:
- объективы со сверхдлинным рабочим расстоянием и увеличением от 2 до 1000 крат.
- методы контрастирования в отраженном свете: темное поле, поляризованный свет, флуорисценция, дифферециально-итерференционный контраст.
- окуляр со встроенным микрометром.
- оснащение цифровой камерой.
- возможность создания изображений путем покадровой съемки и "сшивания" кадров в панорамы.
Особенности:
- «Прямой» тринокулярный тубус (дает прямое, а не перевернутое изображение, удобно для работы с крупными подложками, которые необходимо регулярно перемещать)
- Возможность установки механического измерительного столика диапазоном перемещения 100х100 мм, точностью измерений до 0,001 мм.
- возможность установки моторизированного предметного столика с возможностью панорманого сканирования, диапазоном перемещения 50х50мм или 100х100мм, скорость перемещения 0,05-0,2мм/с, точность позиционирования 0,01 мм. Параллельность сканирования <10μм/100мм.
- возможность замены обчного механизма фокусировки на моторизированный механизм с автофокусом и пультом дистанционного управления. Точность позиционирования <0,01 мм. Тип соединения с управляющей станцией – USB. ПО для управления механизмом фокусировки с возможностью накопления стеков и последующей процедуры стекинга (3Dсканирование).
- ДИК система для увеличений 10х,20x,50х (объектив и ДИК призма)
- Возможность установки компактного флуоресцентного модуля на базе LED 5W. Наборы светофильтров и дихроичных зеркал под заказ. Производства OMEGA или CHROMA.
- Возможность установки модуля спектрофотометрии. Позволяет проводить фотометрирование образцов с оптическим разрешением до 0,78 nm. Автоматическое определение координат цвета и координат цветности различных объектов, создание банка данных различных объектов с автоматизацией поиска по цветовым характеристикам, универсальный цветоанализатор, дающий возможность определять цветовые характеристики различных микрообъектов и микроучастков макрообъектов. Диапазон чувтствительности монохроматора 200-1100nm.
Технические характеристики*:
| Оптическая система |
На бесконечность, рассчетная длина тубуса f=200mm |
| Головка |
Тринокулярная, угол наклона 30°, вращаемая на 360° |
| Окуляры |
EWF10x/26mm, WF10x/22mm с микрометром 0.1mm/Div |
| Infinity LWD B/D планахроматические объективы для темного и светлого поля |
5x/0.20 (W.D. 14.47mm) |
| 10x/0.25 (W.D. 16.0mm) |
| 20x/0.40 (W.D. 10.5mm) |
|
50x/0.55 (W.D. 5.1mm)
|
| Система фокусировки |
Моторизированная, шаговый двигатель, скорость перемещения 0.05mm/s - 0.2mm/s, диапазон перемещения 50mm
|
| Револьверная головка |
Четырехгнездный, с портом для ДИК (DIC)
|
| Моторизированный столик |
вариант 100
|
вариант 50
|
| Размер: 180x180mm |
| Диапазон перемещения: 100X100mm |
Диапазон перемещения: 50X50mm |
| Направляющие: роликовые |
| Червяк: классный（толщина 1mm） |
| Класс червяка: 2μm |
| Максимальная скорость: 10mm/sec |
| Точность репозиционирования: 2μm |
| Точность позиционирования: 4μm |
| Допуск на линейные искажения: 5μm |
| Допуск на параллельность: <15μm/100mm |
Допуск на параллельность: <10μm/50mm |
| Система управления |
Тип контроллера: SCM |
Тип контроллера: FPGA |
| Подключение: USB |
Подключение: PCI |
| Тип двигателя: двухфазовый шаговый мотор |
Тип двигателя: сервопривод |
| Количесвто управляемых осей: три |
| Перемещения: ручное или автоматическое |
| Специализированное ПО |
| Тип ПО - кастом |
Тип ПО: NC Programming |
| Фильтры |
Голубой, зеленый, нейтральный |
| Осветительная система |
Отраженный свет (Epi), Kohler, галогенная лампа, 12V50W или 24V100W, регулировка яркости, полевая и апертурная диафрагма, флуоресцентный осветитель LED 5W |
| Проходящий свет: галогенная лампа 24V100W или LED 5W, регулировка яркости |
| Поляризация |
Анализатор вращаемый на 360°,поляризатор. Возможность полного удаления системы поляризации из оптического пути.
|
| Адаптер камеры |
0.3x, 0.5х, 1х C-Mount
|
| Антивибрационное основание |
Мраморная плита |
| Источник питания |
Универсальный AC 85-260V, |
| Калибровка |
Объект-микрометр 0.01mm/Div
|
*подробные технические харатеристики и дополнительные возможности комплектации узнавайте по запросу. Наши специалисты готовы скомпоновать модульную систему с только необходимыми вам компонентами. Таким образом вы можете съэкномить средства, отказавшись от ненужных устройств и аксессуаров.
|
|
