|
Лазерный сканирующий микроскоп (ЛСМ) удобен при оперативном контроле на нано-уровне, так как не требует вакуумной системы и предварительной подготовки образца (необходимые условия при использовании электронного микроскопа).
По сравнению с оптическими микроскопами ЛСМ имеет большую глубину фокуса, обеспечивает 3-D изображения и цветные изображения с хорошим увеличением, измеряет толщину пленок прозрачных объектов.
Микроскоп VK-X100/X200 имеет увеличение от 200х до 24000х крат и разрешение 0,5 нанометров.
Отличительные особенности:
- 16-битный фотоумножитель.
- Увеличенное рабочее расстояние.
- Высоко-скоростное сканирование на частоте до 7900 Гц.
- Встроенная антивибрационная защита.
VK-X - совмещают цифровой оптический микроскоп, конфокальный микросокоп (разрешение и глубина резкости как у электронного микроскопа) и ЗD лазерный профилометр с возможностью измерения с точностью до 0,5 нм.
Программное обеспечение семейства легко в использовании, имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет:
Измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного пользователем профиля в разрезе;
Выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрию, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта;
Измерять объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов;
Проводить автоматические измерения высоты и ширины структур;
Сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов;
Технические характеристики:
- Апохроматические объективы 10х, 20х, 50х/0,95, 150х/0,95
- Моторизованный оптический zoom от 1х до 8х
- Суммарное увеличение до 24.000х
- Разрешение по Z - 0,0005мкм (повторямость 0,012мкм)
- Диапазон измерений по Z – 7мм
- Разрешение по XY - 0,001мкм (повторямость 0,02мкм)
- 1/3” цветная CCD камера со сверх высоким разрешением (3072х2304).
- Увеличение объектива 150х, соотношение размеров матрицы и монитора 20х даёт увеличение 3000х + промежуточный оптический ZOOM даёт увеличение до 8х, итого 24000х крат
- Повторяемость определялась экспериментально путём многократного измерения стандарта глубины 2 мкм (объектив 50х/0,95)
- Повторямость определялась экспериментально путём многократного измерения дифракционной решетки (расстояние между линиями на стандартном образце 1 мкм, объектив 150х/0,95)
|
|
