Общие данные:

• Измерительный конфокальный лазерный сканирующий микроскоп для материалографии. Предназначен для наблюдения и анализа поверхностей материалов и микроструктур с максимальным разрешением 120нм в плоскости XY и 10нм по оси Z. 
• Общий диапазон увеличений: 108х-17280x. Возможность исследования образцов с углом наклона до 85°.
• Представляет собой комбинацию моторизованного исследовательского оптического микроскопа и лазерного сканирующего микроскопа. Источниками света LEXT Системы является лазерный диод с длиной волны 405нм для лазерного сканирования и светодиодный источник для стандартных оптических исследований на микроскопе [BF(светлое поле), POL (поляризованный свет, поляризатор и анализатор встроены в систему), DIC (дифференциально-интерференционный контраст).
• Дистанционный контроль функциями посредством программного обеспечения LEXT. Программное обеспечение включает в себя широкий диапазон метрологических функций для анализа поверхностей и 2D/3D-структур. Автоматическая фокусировка, центровка (парфокальность), освещенность.
• Оптический зум - 1x - 8x (шаг 0.1х). Объективы: 2,5х, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x. (комлпектуются в зависимости от задач).
• Поле зрения в режиме сканирования - максимум 2,56мм x 2,56мм -  минимум 18мкм x 18мкм. Снабжен антивибрационной системой. Предлагается с механическим или  моторизованным ультразвуковым столом .  Позволяет производить панорамную сшивку 500 изображений.

Точность и воспроизводимость системы:

• Воспроизводимость вертикальная при 50х: меньше чем 3σn-1= 0,012µm. Разрешение шкалы по оси Z: 0,8нм. Точность вертикальная: 0,2+L/100мкм.  Горизонтальная воспроизводимость при объективе 100х:  3σn-1= 0,02мкм.  Точность горизонтальная (XY) ±2%. 

Методы исследования:   

• 1D: лазерное сканирование: быстрое линейное измерение шероховатости (до 100 мм), быстрое измерение толщины прозрачных материалов (от 1 мкм до 2 мм)
• 2D: Цветное (CCD камера), цветное +ДИК, цветное+поляризация, лазерное сканирование, лазерное сканирование+ДИК
• 3D:цветное/черно-белое, с ДИК или без ДИК. Возможность отображения полноцветного изображения с высоким разрешением, (наложение цвета на лазерное сканирование), отображение цветами карты высот, а также черно-белого изображения с высоким разрешением (4096х4096).

Возможности измерения:   

• Многофункциональное программное обеспечение позволяет получать 2D и 3D изображения исследуемого образца. 7 режимов измерения: площадь/объем (area/volume), измерения частиц (particle), измерение шероховатости (surface roughness), измерения слоев и тонких пленок (film), автоматическое измерение края (auto edge detection) и геометрические измерения (under geometric).